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CVD（Chemical Vapor Deposition, 化學(xué)氣相淀積）

CVD試驗CVD（ChemicalVaporDeposition,化學(xué)氣相淀積），指把含有構成薄膜元素的氣態(tài)反應劑或液態(tài)反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應生成薄膜的過(guò)程。在超大規模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。經(jīng)過(guò)CVD處理后，表面處理膜密著(zhù)性約提高30%，防止高強力鋼的彎曲，拉伸等成形時(shí)產(chǎn)生的刮痕。CVD特點(diǎn)：淀積溫度低，薄膜成份易控，膜厚與淀積時(shí)間成正比，均勻性，重復性好，臺階覆蓋性?xún)?yōu)良。

真空熱處理爐的節能技術(shù)

真空熱處理爐的節能技術(shù)空熱處理爐是一種先進(jìn)的熱處理設備可以進(jìn)行金屬材料和工件的真空加熱、淬火、回火、退火、滲碳、滲氮、加壓氣淬等各種熱處理，也可進(jìn)行粉未冶金燒結、航空航天工件釬焊等，真空熱處理過(guò)程能使被處理材料和工件性能顯著(zhù)提高，材料得到充分利用。**因而，廣義上真空爐是一種明顯節省單位能的先進(jìn)的熱處理設備。選用適當的爐爐室內加熱元件和隔熱材料，對于減少爐子本身能耗、提高加熱效率是有重要意義的。加熱元件一般情況可采用鎳鉻合金或鐵鉻合金，工兒溫度要求1000℃以上時(shí)，應采用鉬、...

感應加熱技術(shù)的多種應用

感應加熱技術(shù)的多種應用感應加熱是利用電磁感應的方法使被加熱的材料（即工件）的內部產(chǎn)生電流，依靠這些渦流的能量達到加熱目的。感應加熱系統的基本組成包括感應線(xiàn)圈、交流電源和工件。根據加熱對象不同，可以把線(xiàn)圈制作成不同的外形。線(xiàn)圈和電源相連，電源為線(xiàn)圈提供交變電流，流過(guò)線(xiàn)圈的交變電流產(chǎn)生一個(gè)通過(guò)工件的交變磁場(chǎng)，該磁場(chǎng)使工件產(chǎn)生渦流來(lái)加熱。感應加熱是伴隨著(zhù)汽車(chē)工業(yè)和拖拉機工業(yè)的誕生而起步的。由于其具有加熱效率高、速度快、可控性好及易于實(shí)現機械化和自動(dòng)化等優(yōu)點(diǎn)。目前常用的zui有效的熱...